[용어사전] 머신비전 AFM 알아듣기

 

Autofocus Module (자동초점 시스템)

시료가 움직일 때 이미지의 초점을 조절해 주는 모듈이에요. 한 문장으로 정리하자면 ‘시료가 이동할 때 이미지 초점이 나가지 않게 즉, 심도 범위 안을 유지할 수 있도록 광학계의 높이를 변경하는 모듈이예요.
AFS(Autofocus Sensor)에서 측정한 높이를 AFCB(Autofocus Control Box)를 통해 계산알고리즘 거치고, AFA(Autofocus Actuator)가 광학계를 움직이는 것이죠.

 

AFS (자동초점 센서)

Autofocus Sensor 약자로 레이저 삼각법을 이용한 레이저 변위센서를 응용하여 높이 측정합니다. 검사 대상 표면에 레이저를 조사하고, 표면의 높이에 따라 변하는 레이저 위치를 계산하여 거리를 측정합니다.

 

AFCB (자동초점 제어기)

Autofocus Control Box의 약자로 자동초점센서에서 측정한 높이를 계산알고리즘을 거쳐 자동초점 스테이지로 전달하는 역할을 합니다. FPGA 기반으로 프로세서를 설계하고 제어 알고리즘을 구현하였습니다.

 

AFA (자동초점 스테이지)

Autofocus Actuator의 약자로 AFCB에서 받은 데이터로 광학계의 높이를 변경할 수 있습니다. 정밀가동 된 기구와 정밀모터를 사용하여 광학계의 위치를 조정합니다.

 

추종

‘반응하여 따라간다’를 뜻합니다. AF를 동작하더라도 너무 큰 높이 차이가 있는 시료에서는 대응하지 못할 수 있습니다. 시간당 높이가 급격하게 변하는 환경일수록 큰 추종력이 요구됩니다.

 

LID커브

Light Intensity Distribution.
측정된 시료의 높이와 반사도, 경향을 모두 볼 수 있는 그래프입니다.

 

Off-set

시작점을 다르게 하는 것을 말합니다. Autofocus를 동작할 때, 시료 표면이 아닌 특정 높이를 보고 싶을 때 사용하는 기능입니다.

 

Peak Selection

시료가 투명한 여러 겹으로 이루어져 있을 때, 초점을 맞추고 싶은 Layer를 선택할 수 있는 기능입니다.

 

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필진 소개

 

정세진, Jason 앤비젼 광학모듈 엔지니어 복잡한 광학 모듈도 예시를 통해 쉽게 설명해주는 전문가